Minijaturne mjerne ćelije su precizni{0}}uređaji za mjerenje sile razvijeni na temelju tehnologije mikroelektromehaničkih sustava (MEMS). Budući da pripadaju kategoriji mikroelektromehaničkih uređaja, njihov temeljni tehnološki napredak leži u optimizaciji poluvodičkih piezorezistivnih osjetnih elemenata na nanomjernoj razini.
Minijaturne mjerne ćelije prvenstveno postižu mjerenje generiranjem električnih signala kroz mehaničku deformaciju minijaturne dijafragme. Glavna komponenta koristi MEMS mjerač naprezanja. Ti se senzori mogu minijaturizirati na nekoliko milimetara i težiti samo nekoliko grama. Kompozitna tehnologija pakiranja koristi silikon-metalnu dvo-slojnu strukturu, pružajući zaštitu od vlage i prašine dok kontrolira pomicanje temperature unutar ±0,005%/ stupanj.
Minijaturne mjerne ćelije obuhvaćaju dvije glavne vrste: minijaturne senzore tlaka i minijaturne akcelerometre. Mogu se integrirati u pametne nosive uređaje (kao što su funkcije praćenja težine u pametnim satovima), potrošačku elektroniku (kao što su tipke-osjetljive na pritisak na pametnim telefonima), vaganje industrijske proizvodne linije, mjerenje pakiranja, proporcije materijala i medicinsku opremu (kao što su sustavi povratne sprege sile u kirurškim robotima), proširujući granice primjene mjernih ćelija.