Temeljni princip visoko{0}}preciznih senzora leži u pretvaranju izmjerene količine u precizan, stabilan i pouzdan električni signal kroz precizan dizajn, napredne proizvodne procese, složene algoritme za obradu signala i rigorozne tehnike kompenzacije pogrešaka. Ključni aspekti postizanja visoke preciznosti uključuju: optimizaciju osnovnih načela senzora, visoko{2}}materijale i precizne strukture, napredne proizvodne procese (kao što je MEMS), niske-šumove, visoke-precizne elektroničke sklopove, temperaturnu kompenzaciju, nelinearnost i linearizaciju, kalibraciju i standardizaciju, digitalnu obradu signala i potiskivanje smetnji i štiteći. Temeljna je ideja duboko razumjeti i kvantificirati sve moguće izvore pogrešaka i aktivno eliminirati ili kompenzirati te pogreške kroz zajednički dizajn hardvera i softvera.
U području precizne proizvodnje i inspekcije, visoko{0}}precizni senzori koriste se za visoko{1}}precizna mjerenja pomaka, dimenzija i površinske topografije, kao što je GT2-P12KL-kontaktni senzor za detekciju mikronske razine.
U području kontrole i nadzora procesa, visoko{0}}precizni senzori koriste se u teškim industrijskim okruženjima kao što su kemijska i energetska industrija za vrlo pouzdan nadzor ključnih procesnih parametara kao što su tlak, temperatura i brzina protoka, kao što su OMEGA PX409 serije visoko{2}}preciznih senzora tlaka.
